描述：JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺(tái)是我司自主研發(fā)的一款在環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的設(shè)備。可以實(shí)現(xiàn) 器件及材料表征的IV/CV特性測(cè)試，射頻測(cè)試，光電測(cè)試等。通過(guò)液氮或者壓縮機(jī)制冷，可以在防輻射屏內(nèi)營(yíng)造一個(gè)穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。在特殊材料，半導(dǎo)體器件等研究方向具有廣泛運(yùn)用。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間
2024-11-06
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JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺(tái)

產(chǎn)品概要

JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺(tái)是我司自主研發(fā)的一款在環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的設(shè)備?？梢詫?shí)現(xiàn) 器件及材料表征的IV/CV特性測(cè)試，射頻測(cè)試，光電測(cè)試等。通過(guò)液氮或者壓縮機(jī)制冷，可以在防輻射屏內(nèi)營(yíng)造一個(gè)穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。在特殊材料，半導(dǎo)體器件等研究方向具有廣泛運(yùn)用。

極低溫測(cè)試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測(cè)試:當(dāng)晶圓加熱至300°C,400°C,500°C甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

技術(shù)特點(diǎn)

-防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì)；

•降溫速度快，常溫降至77k<25mins,大大提高測(cè)試效率；

•液氮自動(dòng)控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動(dòng)共同控制溫度。

詳細(xì)參數(shù)

產(chǎn)品類型		低溫開(kāi)循環(huán)	低溫閉循環(huán)
主體材料		航空鋁	航空鋁
型號(hào)		JKZC-JKZC-DCHH-196k	JKZC-JKZC-DCHH4k
外形		850850600mm	900850600mm
重?		約100kg	約150kg
電力需求		AC220V,50?60HZ	AC380V,50~60HZ
腔體	腔體尺寸	8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗
	樣品臺(tái)尺寸	2英寸/4英寸（鍍金）	2英寸（鍍金）
	樣品固定方式	真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片
	真空度	10^A-5pa最高真空
	接口形式	電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等
	其它	帶防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì)
溫控系統(tǒng)	制冷方式	液氮	壓縮機(jī)
	溫控范圍	77K-473K （973k可選）	4.2K~450K
	溫控精度和穩(wěn)定性	土 0丄度/±0丄度
	降溫速度	常溫降到77k優(yōu)于25mins	常溫降到：10k優(yōu)于180mins
	控制方式	液氮自動(dòng)流量控制	壓縮機(jī)控制
光學(xué)系統(tǒng)	顯微鏡類型	體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)	體式/單筒顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
	倍率范圍	16X~200X/40X~280X/20X ?2000X	16X-200X/40X-280X
	移動(dòng)范圍	水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm調(diào)焦，帶萬(wàn)向支架
	真空腔觀察窗尺寸	4inch	4inch
	CCD像素	2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能
探針臂	探針臂數(shù)?	最多6個(gè)
	X￥Z行程	50mm-25mm-25mm
	點(diǎn)針精度	10微米/2微米
	漏電精度	同軸夾具10pA/三軸夾具100 fA
	接口形式	三軸/SMA/K/光纖接口
	頻率范圍	JKZC-DCH-67G
探針	探針直接	lum~100um 可選
	材質(zhì)	磚鋼，披銅
真空系統(tǒng)		機(jī)械泵/分子泵組/離子泵
可選附件		防震桌，鍍金卡盤，氣敏測(cè)試組件等
應(yīng)用方向		高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等

搭配產(chǎn)品/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

我們經(jīng)過(guò)近10年的發(fā)展,在測(cè)試儀器與探針臺(tái)的搭配方面具備十分豐富的經(jīng)驗(yàn)。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀方面，我們和是德科技(Keysight)、泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀有過(guò)多次搭配經(jīng)驗(yàn)，系列型號(hào)有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并為用戶提供半導(dǎo)體參數(shù)分析儀與探針臺(tái)集成測(cè)試方案和服務(wù)。

搭配產(chǎn)品/矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀

依靠與儀器設(shè)備廠商和設(shè)備集成經(jīng)銷商所保持良好的合作關(guān)系，我司可為用戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等公司的網(wǎng)絡(luò)分析儀和模塊，有Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E等,各系列型號(hào)的矢量網(wǎng)絡(luò) 分析儀和毫米波網(wǎng)絡(luò)分析儀，涵蓋不同測(cè)量頻率范圍、性能和功能，并為用戶提供網(wǎng)絡(luò)分析儀與探針臺(tái)集成測(cè)試方案和服務(wù),具備豐富的測(cè) 試經(jīng)驗(yàn)。