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VCC500控制器和VDM005-X壓電陶瓷閥組成的壓強(qiáng)控制儀配套復(fù)合真空規(guī)管使用,可自動控制充氣量及壓強(qiáng)的變化。速度快,精度高,可靠性好。

PEV-1美國HEY壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場合，主要應(yīng)用領(lǐng)域包括: 磁控濺射，光學(xué)鍍膜，太陽能電池，ITO，等離子體刻蝕等。